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磐诺A91应用--高纯六氟化硫及四氟化碳的分析方案

   

磐诺仪器A91气相色谱仪在进样口、检测器、辅助气模块都配以全进口的自动化气体流量控制模块。氢火焰离子化检测器可自动点火，氢气泄漏自动保护，安全可靠，特殊陶瓷化处理的放大板，在潮湿季节始终稳定。配置全进口的气体、液体阀，可自动控制，序列运行，性能稳定、操作方便。可配置16位液体自动进样器。方案配置中采用当前主流的意大利进口毛细管色谱柱，性能卓越，使用寿命长，可以达到良好的分离效果及峰形，提高分析的准确性和稳定性。

1.方案测定组分和范围

A六氟化硫测定成分和测定范围

测定成分	测定范围
O2/Ar	20 ppb -50 ppm
N2	20 ppb -50 ppm
CF4	20 ppb -50 ppm
CO	20 ppb -50 ppm
CO2	20 ppb -50 ppm
C2F6	30 ppb -50 ppm
C3F8	30 ppb -50 ppm

B四氟化碳测定成分和测定范围

测定成分	测定范围
H2	20 ppb -50 ppm
O2/Ar	20 ppb -50 ppm
N2	20 ppb -50 ppm
CO	30 ppb -50 ppm
CH4（THC以甲烷计）	20 ppb -50 ppm
CO2	20ppb -50 ppm
SF6	20ppb -50 ppm
CH2F2	50ppb -50 ppm
CHF3	50ppb -50 ppm
C2F6	50ppb -50 ppm

2.方案流程和说明

本方案配置两个带吹扫十通阀，二个带吹扫六通阀，五根不锈钢填充色谱柱，一个氦离子检测器，一个氦气纯化器，一个零死体积稳压阀组等组成。

氟化硫及四氟化碳的分析流程图

3分析过程

（1）本流程图处于初始状态，六氟化硫样品冲洗定量环1，切换阀V1和V2从状态OFF至ON，载气1带定量环1中的样品进入色谱柱5A 1#中进行分离，大量的SF6从VENT 1#口放空，切换阀V2状态从ON至OFF，O2、N2和CO在5A 2#柱中进一步分离，被F PDD检测到。切换阀V1从状态ON切换为OFF，阀V4状态从OFF切换为ON，载气2带着定量环2中的样品进入PQ 1#中分离，在SF6流出PQ 1#前将阀V3状态从OFF切换为ON，载气3带着CF4、CH4和CO2进入PQ 2# 中进一步分离，被PDD检测到，大量的SF6从VENT 2#口放空后，将阀V3状态从ON切换为OFF，载气2带着C2F6和C3F8等气体进入PQ 2#中分离，被F PDD检测到。

通过外标法计算自动得到各组分含量。

分析过程结束。

（2）本流程图处于初始状态，四氟化碳样品冲洗定量环1，切换阀V1和V2从状态OFF至ON，载气1带定量环1中的样品进入色谱柱5A 1#中进行分离，大量的CF4从VENT 1#口放空，切换阀V2状态从ON至OFF，O2、N2和CO、CH4在5A 2#柱中进一步分离，被F PDD检测到。切换阀V1从状态ON切换为OFF，阀V4状态从OFF切换为ON，载气2带着定量环2中的样品进入PQ 1#中分离，在CF4流出PQ 1#前将阀V3状态从OFF切换为ON，载气3带着H2等进入PQ 2# 中进一步分离，被PDD检测到，大量的CF4从VENT 2#口放空后，将阀V3状态从ON切换为OFF，载气2带着CO2、SF6、CH2F2、和CHF3、C2F6等气体进入PQ 2#中分离，被F PDD检测到。通过外标法计算自动得到各组分含量。

分析过程结束。